电子显微镜是一种使用电子而不是光子--就像传统的光显微镜那样--进行成像的显微镜。 因为电子的波长比光子小得多,所以它们能提供更大的放大率。 电子是围绕原子核运行并携带电荷的微小 "卫星"--这些粒子非常小,在物理学中它们通常被建模为点。 然而光波要大得多,例如,绿色的波长约为500纳米。
最好的光学显微镜只能提供约2000倍的样品放大率,而一些电子显微镜可以将样品放大5000万倍;相比之下,200万倍更为典型。 这样算下来,分辨率极限约为0.1纳米,可以观察到表面上的单个原子。 这种显微镜发明于1931年,当时第一个工作原型是由恩斯特-罗斯卡和马克斯-诺尔制造的。 罗斯卡最终因其成就被授予诺贝尔物理奖(1986)。
这种显微镜有四种类型,前两种是最常见的:透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、反射电子显微镜(REM)和扫描传输电子显微镜(STEM)。
TEM是最初发明的电子显微镜。 使用对电子半透明的样品,电子束直接射入样品。 另一侧的接收器测量每个单独点的电子密度,并将其汇编成灰度图像。 这就是样品的图像。
SEM的分辨率比TEM低一些,但仍是最受欢迎的类型。 正如其名称所暗示的那样,这种显微镜将电子束扫描到样品上。 传感器不是分析原始光束以获取有关样品构成的信息,而是通过主光束的激发来收集样品表面释放的二次电子。 这牺牲了一些分辨率来获得样品的三维图像。 这是很值得的交易。
大多数扫描电子显微镜的购买和维护成本很高。 它们需要一个稳定的高压电源、一个真空泵和冷却线圈。 样品必须准备好,通常是在样品上涂上一层薄薄的导电材料,如金。
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